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1999年底,由厦门大学、萨本栋教育科研基金会和厦门市政府共同创议设立厦门大学萨本栋微机电研究中心,并且成立了筹委会。经过两年时间的筹建,大楼于2002年2月建成,中心正式于2002年9月开始运行,2003年经验收成为厦门市(福建省)MEMS工业工程中心,2006年获批为福建省高校重点实验室。中心的目标是建设的微纳米研究中心,使中心成为一个多学科交叉的开放性的公共研究平台,微纳米器件与系统创新科技人才的培养平台,以及科研成果转化和产业化的基地。